設備
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ヘリコンスパッタ製膜装置
ヘリコンスパッタカソードにより低圧で薄膜を作製します。2元同時スパッタや積層膜の作製が可能です。
■日本真空技術(株)製 MPS-2000-HC3
■到達真空度：1.3×10-6 Pa
■基板加熱機構：最高1000℃
■ターゲット：φ2inch×2
■RHEED機構，ロードロック室付属
粉末X線回折装置（XRD）
ローター式のターゲットからの強力なＸ線と4軸の多目的試料台を用いた測定により，粉末，バルク，薄膜試料の結晶構造，配向性，歪みを精度良く解析できます。得られたデータとJCPDSデータベースとの比較・参照が可能です。
■(株)リガク製 RINT 2500HF/PC＋多目的試料台
■最大出力：18 kW
■ターゲット：Cu
■測定角度範囲（横型ゴニオ）：-60°～158°
■最小ステップ：0.001°
試料振動式磁力計（VSM)
粉末，バルク，薄膜試料の磁化を広い温度，磁場範囲にわたり測定します。また，印加磁場の方向を変えることで，磁気異方性も評価できます。
■東英工業㈱製 VSM-15
■最大磁場：15 kOe
■測定温度範囲：4.2～1173 K
■測定感度： 1.0×10-5 emu
電磁波吸収測定装置（ネットワークアナライザー）
高周波に対する材料の反射および透過係数（Sパラメータ）を測定することで，材料定数（透磁率，誘電率）を算出します。得られた材料定数を基に，材料の電磁波吸収特性を評価します。
■アジレントテクノロジー(株)製 HP8720D
■測定周波数範囲：50 MHz～20 GHz
■周波数分解能：1 Hz
■ダイナミックレンジ：100 dB
顕微ラマン分光装置
局所的な構造に関する情報を得ることができます。
顕微プローブを用いることで，微小領域の測定も可能です。
■Jobin Yvon製T-64000
■レーザー：Ar 514.5nm
■出力：100mW
■分光器：シングル、トリプル切り替え
熱分析装置（TG/DTA）
様々な雰囲気下での示差熱と重量変化が同時に測定できます。
差動型であるため、微小な重量変化を精度よく測定できます。
■リガク製TG8120
■測定温度：室温～1500℃
■昇温速度：最大100℃/min
■分解能：0.1μg
フーリエ変換型赤外分光光度計（FT-IR）
試料に赤外線を照射し、その吸収スペクトルから不純物の分析や、試料の結合状態などを評価します。
■サーモフィッシャーサイエンティフィック（株）社製 Nicolet 6700 FT-IR
■光源 ETC EverGlo光源 (9600-20 cm-1)
■検出器 DLaTGS/KBr窓検出器 (12500-350 cm-1)
■最高分解能 0.4 cm-1
■S/N 50000：1
原子間力顕微鏡（AFM）
ナノオーダーで試料の表面構造および磁気構造が観察できます。大気中での測定に加えて，高真空中での測定も可能です。
■日本分光㈱製 JSPM-4610
■分解能：0.2 nm×0.2nm×0.01 nm
■測定モード：コンタクト，ノンコンタクト，タッピング，フェーズ，フリクション，マグネティック
光学顕微鏡
反射、透過偏光、実体、生物顕微鏡といった金属材料から鉱物、生物に至るまで各種サンプルに応じた光学顕微鏡を完備。サンプルに応じて適切な観察方法が選択できます。
■反射顕微鏡 Nikon製 OPTIPHOT
■偏光顕微鏡 Olympus製 BX51
■実体顕微鏡 Nikon製 SMZ-10A
■生物顕微鏡 Olympus製 BX51
メスバウアー分光
メスバウアー分光とは、原子核が出すγ線の共鳴吸収現象を利用した測定法であり、対象とされた原子の化学状態や環境を敏感に反映したスペクトルを与えます。現在、3台の装置が稼働中であり、主として酸化鉄薄膜や微粒子の磁性、電子状態の解明に利用しています。
■株式会社トポロジック・システムズ社製 他
■対象核種 Fe，Sn，Eu
■測定温度 室温～10 K （透過法）
室温 （散乱法）